乱伦社区

中国

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化学工艺控制

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乱伦社区 的化学工艺控制产物支持芯片制造的多种应用，其中包括关键镶嵌、清洁和湿法蚀刻工艺的分析与监控。化学分析系统可帮助工程师在开发过程中鉴定各种工艺并与工艺工具无缝集成，以便在大批量生产期间进行在线监控。借助我们化学工艺控制系统生成的信息，芯片制造商可快速优化工艺并实现更高的产量和可靠性。

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Quali-Line? Prima?

铜互连线在线化学品管理系统

Quali-Line? Prima? 2 系统用于分析和管控先进制程节点的铜互连线电镀工艺。铜互连线化学品监控系统专为先进芯片、太阳能及硬盘驱动器的高量产严苛环境研发，支持常规、超低及高浓度铜化学液配置，确保半导体器件的精密电镀质量。Quali-Line Prima 2 系统可便捷集成于先进电镀设备，以最佳精度和重复性实现快速分析和精确控制，全面检测无机和有机成分。

Quali-Line Quanta?

钴沉积在线化学品管理系统

Quali-Line Quanta? 系统通过精确测量无机和有机成分的浓度，对先进逻辑和存储器件的 BEOL/MOL 工艺中的钴电镀进行分析，确保其具有最佳的精确度和准确性。Quali-Line Quanta 系统专为大规模生产而开发，支持传统的钴化学工艺，并有助于实现先进互连工艺中钴金属化的精确控制。 它具有全自动验证和校准功能、智能自诊断功能，并能与钴镀工具无缝集成。

QualiSurf?

湿法蚀刻/清洗应用在线化学品监控系统

QualiSurf? 化学品监控系统支持半导体 FEOL、MOL 和 BEOL 工艺中的先进清洗和湿法蚀刻应用，可最大限度地减少因化学成分不理想而产生的废料。该系统针对化学成分、蚀刻产物或工艺污染物（适用于回收化学品）进行了配方设计，它基于超过 15 种集成的分析方法提供强大的洞察力，这些方法包括光谱法、电化学法和滴定法。QualiSurf 在线计量系统以高精度和可重复性精确监控和控制每个芯片制造工艺及化学过程，其准确性由自动校准、验证以及自我分析仪健康检查所保证。

The QualiLab Elite? 台式实验室仪器支持新兴工业技术和大学应用中的化学分析。

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